近日有消息指,台积电将会关闭部分 EUV 光刻机,以以节省电力。

来自半导体业界的爆料者表示,由于先进制程的产能利用率开始下降,且经过评估后的结论是下降趋势将会持续一段时间,因此台积电计划由年底起,关闭部分EUV 设备,以节省庞大的电力开支。

据悉,台积电拥有约 80 台 EUV 光刻机,用于生产 7nm、5nm 等先进制程芯片,接下来的 9 月更会用于 3nm 制程,。不过随着 PC、手机、显卡等产品的需求下跌,先进制程的产能需求亦受到直接的影响。

相较以前的 DUV 光刻机,EUV 光刻机需用到高能量激光,且光线因多次折射以致损耗极大,早期效率仅有 0.02%,而目前量产阶段虽已大幅提升至 2% 效率,但也代表着依然是会损耗掉大部分电力。

据资料显示,EUV 光刻机每日生产需耗用 3 万度电力,一年约为 1000 万度,难怪台积电也会考虑关闭 EUV 光刻机器。