1ppm

从集成电路基板去除污染物的方法包括用含有螯合剂的过氧化氢清洁溶液处理基板，并用氢气和含氟气体处理基板，并对基板进行退火。清洁溶液包括铵，过氧化氢，去离子水和螯合剂。螯合剂包括一至三种选自羧酸化合物，膦酸化合物和羟基芳族化合物的化合物

产品简介：气体纯度气相色谱仪 本仪器适用高纯氮、高纯氩、高纯氦、高纯氖中微量氢气、氧气、一氧化碳等杂质的检测。其小检测范围可分别小于1ppm，氧化锆色谱仪可用于实验室也可用于上述气体生产现场的监控。属两用型仪器