polytec

与纯半导体器件不同，新微机电系统 (MEMS)的开发总是需要新的生产工艺。至少工艺方法和模块必须修改，因为目前还没有能应用于所有新的微机械组件的通用标准方法，这在半导体开发中不足为奇。 若要使主要由机械性能决定的结构元件能够正常工作，无论是优化系统设计还是工艺设计，都十分必要

通过新一代的光学速度和长度传感器ProSpeed® LSV-2100，您可以进行双向测量并检测停滞状态。凭借ProSpeed®的增强型连接性以及长达3米的扩展工作距离，您可以随时随地可靠地控制生产过程。 Polytec 的激光表面速度计专用于高精度测量恶劣条件下的速度和长度