二次电子

—可获得样品的各种信息，实现高通量分析— 2018年7月31日，日本株式会社日立高新技术公司（TSE：8036，日立高新技术）于7月31日正式推出肖特基场发射扫描电镜SU7000，它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间，真正实现了高通量的观察与分析。 扫描电子显微镜（SEM）可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号，获得从微细结构到组成成分等各种信息，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大，对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求

磁控溅射PVD镀膜在真空炉内， Ar离子辉光放电及清洗， 由于宇宙射线的作用，在空气中任何时候都存在少量游离的离子，有带正电荷也有带负电荷的，当在较高真空状态下几帕----几十帕，如果这些游离的离子被施加一定的电压，那么带负电荷的电子受到施加电压的作用后开始加速运动，如果施加的电压足够大，这些电子将高速碰撞真空室内的中性气体Ar，并使Ar电离成Ar+，同时Ar释放出一个电子。Ar释放出的这个电子又受到电场的加速作用后又开始去碰撞Ar，使Ar又电离出Ar+。这样就可产生源源不断的电子以及源源不断的Ar+

真空泵机组高频放电就是当两个电极间有高频交变电场存在时所引起的放电形式。当放电管两端加上交变电压时，真空泵机组气体中的电子和正离子便在交变电场作用下产生附加的谐振动。因正离子质量比电子大得多，谐振动振幅很小

秉承飞纳台式扫描电镜系列全自动操作、快速成像、不喷金观看不导电样品、*防震、性能稳定的特点，荷兰飞纳公司推出第二代肖特基场发射电子源台式场发射电镜 Phenom Pharos G2 集背散射电子成像、二次电子成像和能谱分析功能于一体。高亮度肖特基场发射电子源，使用户可以轻松获得高分辨率图像，且低电压性能优异。 Phenom Pharos 飞纳台式场发射扫描电镜采用热场发射电子源，信噪比高，使用寿命长，保证*稳定的性能

—可获得样品的各种信息，实现高通量分析— 2018年7月31日，日本株式会社日立高新技术公司（TSE：8036，日立高新技术）于7月31日正式推出肖特基场发射扫描电镜SU7000，它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间，真正实现了高通量的观察与分析。 扫描电子显微镜（SEM）可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号，获得从微细结构到组成成分等各种信息，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大，对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求