谐振动

真空泵机组高频放电就是当两个电极间有高频交变电场存在时所引起的放电形式。当放电管两端加上交变电压时，真空泵机组气体中的电子和正离子便在交变电场作用下产生附加的谐振动。因正离子质量比电子大得多，谐振动振幅很小