substrate

ROTARIS是全自动、高精度、超高真空的溅射镀膜平台。可处理200mm～300mm尺寸的晶圆。它的主沉积腔RSM(Rotating-Substrate-Module)最多可配有12个直径为100mm

自从我先前发表了“成功者背后的专业力”系列的第一篇文章之后，许多朋友都好奇的问我，究竟我在打给王文渊的3分钟电话中说了些什么。与其个别一一回答，我不如在这里把剩下的故事说完。 我在打这通电话之前，已经做足了功课和研究；透过许多业界的朋友，我了解到： 台塑集团想要进入电子业，因为当时是电子业的黄金时代