superconducting
tes 超导微量热x射线能谱仪
TES 超导微量热X射线能谱仪，配备超导体相变热辐射阵列侦测器，不需冷冻剂 (液态氮) MICA-1600 超导微量热X射线光谱仪，是一部能够用来执行奈米级微量分析的仪器，它结合了能量色散光谱 (EDS Energy Dispersive Spectroscopy) 与波长色散光谱 (WDS Wavelength Dispersive Spectroscopy) 的优点，提供超高分辨率的分析能力。 与场发射电子显微镜 (如 Hitachi S-4800) 组合时，让原本被减弱的X射线，还是能够被仪器的超导体相变热辐射侦测器 (TES Superconducting Transition Edge Sensor)所侦测。让本仪器可结合场发射电子显微镜，来分析半导体元件的结构，解析叠线，侦测微量元素，以及在低能量射线下分析物质细微的特性