TES 超导微量热X射线能谱仪，配备超导体相变热辐射阵列侦测器，不需冷冻剂 (液态氮)
MICA-1600 超导微量热X射线光谱仪，是一部能够用来执行奈米级微量分析的仪器，它结合了能量色散光谱 (EDS Energy Dispersive Spectroscopy) 与波长色散光谱 (WDS Wavelength Dispersive Spectroscopy) 的优点，提供超高分辨率的分析能力。
与场发射电子显微镜 (如 Hitachi S-4800) 组合时，让原本被减弱的X射线，还是能够被仪器的超导体相变热辐射侦测器 (TES Superconducting Transition Edge Sensor)所侦测。让本仪器可结合场发射电子显微镜，来分析半导体元件的结构，解析叠线，侦测微量元素，以及在低能量射线下分析物质细微的特性。相较于传统的能量色散光谱仪，MICA超导微量热X射线光谱仪可提供60倍于EDS的分辨率。
MICA超导微量热X射线光谱仪配备脉冲管冷却器与隔热消磁致冷器，无须使用液态氮等外加冷却剂，使仪器便于操作，具备长期的稳定性，并能够快速提供定性、定量的化学分析。