硅片
智能型HMDS烘箱,全自动HMDS预处理系统预处理性能更好,更加均匀;效率高一次可以处理多达4盒的芯片;更加节省药液;低液报警、防药液泄漏等具有很强的安全保护功能;,有可自动吸取添加HMDS功能,智能型的程式设定,一键完成作业。 智能型HMDS烘箱,全自动HMDS预处理系统的重要性: 光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。 在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要
近年来,国内光伏市场逐渐缩小,企业纷纷将视线投向海外。在8月27至29日巴西圣保罗举办的南美光伏展中,大量来自中国的供应商参会,海外客户也被这些产品不断下降的价格所吸引。 “上半年海外光伏市场出口同比增长31.7%,全球装机市场发展突破预期
硅片甩干机用于清洗太阳能硅片和半导体硅片,是湿法清洗工艺的主要设备,目前主要机型由四工位,六工位和八工位系列。主要工作过程为喷淋旋转冲洗+离心甩干+氮气加热烘干,工作特点如下: 1、硅片甩干机整个甩干过程一般只需要5-6分钟; 2、设备的外露面为进口的PP板,外形美观,耐酸气腐蚀; 3、工作腔,旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢,并且表面电化学抛光处理; 4、旋转机构经过精密动平衡处理,保证工作时的平衡性; 5、采用特种减震器,精密减震和阻尼,保证系统的稳定; 6、硅片甩干机采用洁净化处理技术,阀门,接头和管道采用不锈钢,PEA高纯管件和聚四氟; 7、采用油压缸自动开门关门,平稳安全可靠; 8、采用油浴炉或气体加热器加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有双重安全保护; 9、特制喷头和气液流体控制系统,全自动切换; 10、顶盖采用电加热板辅助加热,保证顶盖烘干后不滴水; 11、硅片甩干机的工作腔采用静电控制。
一、温湿度 洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。 洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感
查看完整版本: [-- 国家产业化硅片示范工程建成 --] 本报北京2月27日讯 记者贾西平报道:我国第一条可满足0.25微米线宽集成电路需求的8英寸硅单晶抛光片生产线,今天在北京有色金属研究总院建成投产。该项目是国家高技术产业化硅片示范工程,设计能力为年产8英寸硅单芯片6000万平方英寸。它的建成投产标志着我国深亚微米超大规模集成电路用硅片的生产达到了世界先进水平
从光电传感器和近接传感器到用于检测的测量仪器和研究院专用的高精度设备,KEYENCE的产品覆盖面极其广泛。KEYENCE的客户遍及各行各业,有超过80000的客户都在使用KEYENCE的这些产品。用户只要针对特定应用选择合适的KEYENCE产品,就可以安装高产量,高效能的自动化生产线
公司生产的太阳能硅片按不同工艺可分为多晶硅片和单晶硅片两大类,主要用于硅基太阳能电池片的基底材料。 一、转换率在18.9%以上,达到行业先进水平。 二、先进的进口设备与的精湛的生产工艺保证了较低的缺陷密度
重庆光伏发电,没有阳光还能发电吗? 重庆重庆重庆光伏发电是利用半导体界面的光伏特性将光能直接转化为电能的技术。该技术的关键部件是太阳能电池。太阳能电池串联后,可形成大面积的太阳能电池组件,然后与功率控制器等部件形成重庆重庆光伏发电装置
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全自动水处理设备主要应用于哪些工业领域? 水处理设备根据出水水质的类别分为原水处理设备、超纯水设备、净水设备、过滤设备等几大类,因出水水质不同,造成了每一工业用的水处理设备采用的水处理工艺是不一样的,下面介绍一下关于全自动水处理设备主要应用于哪些工业领域。 全自动水处理设备水处理工艺大致可细分为: 沉淀物过滤法、硬水软化法、活性炭吸附法、离子法、RO反渗透法、UF超滤法、蒸馏法、紫外线消毒法、生物化学法。 水处理设备可去除水中的悬浮物、重金属(如铁、锰)、胶体物理学有机物,降低生物物质、钙、镁、重碳酸根的浓度,以保证出水的水质能够达到工业的用水标准
