pecvd

营口金辰机械股份有限公司，以下简称“金辰股份”。 金辰股份（603396）是中国国家高新技术企业，专注于真空镀膜技术、自动化技术、设备智能化解决方案的创新型企业。金辰股份的高端智能装备广泛应用于新能源、新材料行业，并在全球范围内为客户提供行业智能制造解决方案

金谷气体创立于2000年，始终以“为科研和生产领域提供世界一流的技术产品和世界一流的服务”为宗旨，致力于超精细化学品的研发与制造。经过多年的发展，金谷气体已具备为化学、分析、材料、物理及气体研发等领域提供近50万种产品和专业服务的能力。 气体产业一直是金谷气体的重点研究领域，经过多年的发展，金谷气体可提供近20种高纯气体与2000余种研发及生产专用化学产品

东莞市恒石精密科技有限公司是一家集生产、销售和研发为一体的专业石墨产品供应商。公司拥有专业的销售、生产、研发及售后团队，主要经营日本TOYO、法国MERSEN、德国SGL等世界知名品牌及国产石墨。产品广泛应用于模具行业、光伏行业、汽车行业、手机通讯行业、电子半导体、真空热处理及机械行业等领域，产品涵盖石墨原材料、EDM用石墨电极、PECVD用石墨舟、VC散热及玻璃封装模具、3D热弯模具、真空热处理用石墨加热器、石墨转子、石墨轴承等零配件、CFC保温板及紧固件等，并致力于为这些行业提供专业的技术支持与应用解决方案

????????2018年9月底，由沈阳拓荆科技有限公司自主研制的12英寸原子层沉积（Atomic?Layer?Deposition，ALD）设备FT-300T通过了客户的验收。 ????????ALD设备是集成电路制备过程中关键的薄膜沉积设备，被视为先进半导体工艺技术发展的关键环节之一。拓荆公司基于已通过生产验证的高产能PECVD设备平台，成功研制了国内首台量产型12英寸ALD设备FT-300T，并迅速推向市场，可应用于28nm以下极大规模集成电路，OLED及先进封装（TSV）领域，投入28/14nm先进生产线，用于沉积SiO2，SiNx等绝缘薄膜

【产品名称】1200℃-PECVD管式炉系统【炉管尺寸】φ40--φ100mm【加热区】300mm/440mm 【额定温度】1200℃【控温精度】±1℃ 【应用领域】PECVD系统（等离子增强化学气相沉积系统）由管式炉、真空获得、流量控制和射频电源四大模块组成， 本设备借助13.56Mhz的射频输出使含有薄膜组成原子的气体电离，在真空腔体内形成等离子体，利用等离子的强化学活性，改善反应条件，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术，最终得到基片上沉积出所期望的薄膜。【产品名称】1700℃-CVD管式炉【炉管尺寸】φ25--φ120mm【加热区】300mm 【额定温度】1700℃【控温精度】±1℃ 【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。1200℃-CVD梯度管式炉 【产品名称】1200℃-CVD梯度管式炉【炉管尺寸】φ25--φ120mm【加热区】300mm+300mm 【额定温度】1200℃【控温精度】±1℃ 【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料

PECVD系统薄膜制备设备，适合于半导体、集成电路、光电科学、电子信息、纳米技术等领域研究，可以在各种尺寸和形状的基底上沉积可以多种薄膜。 1、PECVD是前段预热双温区滑轨结构，集真空系统、供气流量系统、射频源、自动推进、加热于一体，并将所有控制集成于触屏操控界面之中。 2、PECVD电源范围：0~500 W可调，温度范围：100~1200 ℃可调，溅射区域长度：2000 mm

坪山科研成果打破国外垄断 纳米级技术给电子产品穿上“雨衣” 深圳晚报讯（记者 余俊杰）纳米材料防水技术有多强？经过技术处理后，普通的卫生纸完全丧失了吸水能力，水滴在纸上如荷叶露珠一般晶莹剔透；手机拆开外壳放进水里，不会短路，仍能正常使用；鞋子放进浸泡水中，拿出来却滴水不沾……这是昨日记者走访坪山区龙鳞（深圳）新材料科技有限公司所看到的奇妙场景。 该公司负责人介绍称，作为国内首家发明的等离子体增强型化学气相沉积技术（以下简称PECVD）制造这种纳米材料的企业，该项技术可以解决电子产品、可穿戴设备等产品防水疏水的问题。 据了解，龙鳞（深圳）新材料科技有限公司是一家在坪山诞生，并在坪山不断成长壮大的企业

2020年11月13日，“SEMI中国光伏标准技术委员会2020年度秋季会议”在杭州隆重召开。由电科装备新能源事业部主编的SEMI标准《晶硅电池测试分选设备设计指南》、参编的SEMI标准《MWT太阳电池贯穿孔质量的检测方法》，在此次秋季会议上，经全球投票获得通过，并正式发布。 同时，由全国半导体设备和材料标准化技术委员会主导，由电科装备新能源事业部主编的电子行业标准《晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备》、《晶体硅光伏电池智能制造 数据采集指南》，以及参编的电子行业标准《晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式PECVD设备》，已通过立项、起草、征求意见等环节，将于11月30日进行标准审查

SNEC第十六届(2023)国际太阳能光伏与智慧能源(上海)大会暨展览会（简称“SNEC光伏大会暨(上海)展览会”）将于2023年5月24-26日在上海新国际博览中心隆重举行。 “SNEC光伏大会暨(上海)展览会”从2007年第一届的1.5万平方米，发展到2021年的20万平方米，来自全球95个国家和地区共1600多家企业参展，其中国际展商比例占30%，已经成为在中国、在亚州、在全球最具影响力的国际化、专业化、规模化的光伏盛会。 SNEC光伏展览会是全球最为专业的光伏展，其展出内容包括：光伏生产设备、材料、光伏电池、光伏应用产品和组件，以及光伏工程及系统、储能、移动能源等，涵盖了光伏产业链的各个环节

您有没有想过柔性电子面板和太阳能电池板是怎么制造出来的？是通过一种常见的高科技镀膜工艺，它被称为“卷绕镀膜”(R2R)，是大量材料和产品的首选生产方法。 卷绕 (R2R) 镀膜机可以为通常由聚合物或各种金属制成的所有柔性材料镀膜。为这些材料镀膜是改变其特性或保护其免受磨损和/或环境条件的影响