磁控溅射

Abstract 多孔结构可以使氧化钨薄膜的气敏、电致变色等性能得到增强但目前多孔氧化钨薄膜的制备仍存在困难。本文采用W和Al双靶磁控溅射的方法得到了W-Al合金薄膜后把合金薄膜浸入NaOH溶液中处理其中的Al被腐蚀同时W被氧化从而得到了多孔的氧化钨薄膜。利用SEM观察多孔氧化钨薄膜样品的表面形貌用XPS分析样品中W的价态用XRD分析样品的晶体结构用紫外-可见-近红外分光光度计测量样品的光学性质

玻璃材料品种多样，性能优越质量佳，不但能够作为装饰，而且耐用功能广。玻璃隔断、汽车车窗，都要玻璃做主场。玻璃是现在较为流行的装饰材料，建筑室内装潢与室外玻璃幕墙都会用到它

产品特点：磁控溅射卷绕镀膜机是磁控溅射多用途卷绕镀膜设备，适用于在 PET 和无纺布上镀制金属膜（铜，铝等）功能性薄膜，设备采用先进的磁控溅射镀膜技术，配备直流、射频磁控溅射系统，适合镀制软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。 磁控溅射卷绕镀膜机是磁控溅射多用途卷绕镀膜设备，适用于在 PET 和无纺布上镀制金属膜（铜，铝等）功能性薄膜，设备采用先进的磁控溅射镀膜技术，配备直流、射频磁控溅射系统，适合镀制软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。 适用制膜：软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、设计、制造，是一家集真空薄膜新材料沉积设备、真空技术应用设备等相关设备及其工艺的研发、设计、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。 公司的研发中试孵化基地位于毗邻雄安新区的任丘经济技术开发区，距离未来的雄安高铁站约20公里，占地面积20000㎡不仅建有包括机加工、电气、结构组装，调试等多个中试生产车间和办公楼以及其它辅助厂房；同时建有研发工艺、服务客户的开放实验室。公司还聘请了国内外真空行业资深的专家、教授作为本公司的技术顾问，确保真空设备产品高水平，始终保持较强的自主研发能力、先进的设计概念、领先的技术优势

a.硬度及弹性模量。不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜，有色金属研究院用阴极电弧法制备的DLC膜*高硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响， Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度

玻璃隔热膜用于提高普通玻璃的安全节能性的应用可追述到1960年。当时研制膜的初衷，时为了控制太阳能负荷造成的制热、制冷的不均衡，早期的膜仅具有将太阳辐射反射出玻璃窗外，以阻止玻璃内表面的热量增加的性能。 随着制造工艺的不断发展，新一代的本体着色隔热膜诞生了，它丰富的色彩为建筑师提供了广阔的设计空间

NSC-4000（A）全自动磁控溅射系统：立式自动系统，带有水冷或者加热（Z高可加热到700度）功能，Z大到6“旋转平台，Z大可支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度

a.硬度及弹性模量。不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜，有色金属研究院用阴极电弧法制备的DLC膜较高硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响， Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度

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锦州市润佳真空设备科技有限公司位于美丽的渤海之滨，地理位置十分优越，交通非常便利。公司是由有着多年真空设备设计制造经验的人员组成，是一支坚实稳固、精诚团结、善于攻关的团队，是集真空设备研制、真空系统设计制造、真空技术咨询及维修服务为一体的专业生产企业。 公司先后研发制造了二十多种具有国内领先水平的产品，为各行各业包括国家重点工程和国家航天航空提供了优质设备，主要产品有：真空烧结炉、真空电弧炉、真空感应熔炼炉、真空感应悬浮熔炼炉、真空快淬制粉设备、真空气雾化金属制粉设备、水雾化制粉设备、金属喷射成形设备、真空化学气象沉积炉（电阻加热和感应加热）、真空浇注设备、真空小型多功能试验炉（真空烧结、真空镀膜、真空熔炼、还原、氮化等功能）、真空磁控溅射镀膜机、真空离子镀膜机