Abstract 多孔结构可以使氧化钨薄膜的气敏、电致变色等性能得到增强但目前多孔氧化钨薄膜的制备仍存在困难。本文采用W和Al双靶磁控溅射的方法得到了W-Al合金薄膜后把合金薄膜浸入NaOH溶液中处理其中的Al被腐蚀同时W被氧化从而得到了多孔的氧化钨薄膜。利用SEM观察多孔氧化钨薄膜样品的表面形貌用XPS分析样品中W的价态用XRD分析样品的晶体结构用紫外-可见-近红外分光光度计测量样品的光学性质。结果显示：制得的多孔氧化钨薄膜的平均孔径在100nm左右呈海绵状疏松结构;薄膜中W的价态以＋5价为主;薄膜属于非晶相;在可见光区域多孔氧化钨薄膜具有较高的透过率而在近红外区域则具有近似平直的透过率曲线。