简介：建置“透明导电材料”、“亲水性及斥水性材料与内存元件”、“太阳能电池”、“奈米光电材料与元件”等领域之教学及研究设备，提供大学部电子材料与光电相关课程、实务专题及研究所执行研究计划使用。发展学生学用专长特色，以 提升学生之研究能力、实务能力和竞争力。并配合产学合作及研究计划将技术及研发成果转移至产业界。
设备：双腔体直流/射频溅镀系统、金属热蒸著机、电浆助长式化学气相沉积系统、红外线快速升温化学气相沉积系统、管状高温炉、箱形高温炉、清洗台等。
课程：半导体制程实习、半导体制程、薄膜工程、太阳能电池制造与量测技术、太阳能电池概论、真空技术、影像显示科技导论、实务专题。