根据芯思想研究院（ChipInsights）的数据表明，2019年全球半导体、面板、LED用光刻机出货约550台，较2018年减少50台。其中半导体前道制造用光刻机出货约360台；半导体封装、面板、LED用光刻机出货约190台。2019年ASML、Nikon、Canon三巨头半导体用光刻机出货359台，较2018年的374台减少15台，跌幅为4%。

从EUV、ArFi、ArF机型的出货来看，全年共出货154台。其中ASML出货130台，占有84%的市场，较2018年下降6个百分点。

EUV方面还是ASML独占鳌头，市占率100%；ArFi方面ASML市占率高达88%；ArF方面ASML占有63%的市场份额；KrF方面ASML也是占据63%的市场份额；在i线方面ASML也拿下了该拿的份额。

从总营收来看，2019年ASML、Nikon、Canon三巨头光刻机总营收954亿元人民币，较2018年小幅增长。从营收占比来看，ASML占据74%的份额。虽然2019年光刻机出货数量有所下滑，但高端机台EUV、ArFi、ArF的出货量增加，也使得总体营收微幅增长。