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根据芯思想研究院（ChipInsights）的数据表明，2019年全球半导体、面板、LED用光刻机出货约550台，较2018年减少50台。其中半导体前道制造用光刻机出货约360台；半导体封装、面板、LED用光刻机出货约190台。2019年ASML、Nikon、Canon三巨头半导体用光刻机出货359台，较2018年的374台减少15台，跌幅为4%