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VPO-300快速退火炉 快速退火炉（RTP/RTA）是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合12英寸晶圆或300mm x 300mm大尺寸样品的热处理