VPO-300快速退火炉 快速退火炉（RTP/RTA）是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合12英寸晶圆或300mm x 300mm大尺寸样品的热处理。
RTP-150快速退火炉 升温速度：150摄氏度每秒，可以用于大6英寸晶圆或者156mm x 156mm尺寸样品热处理。RTP-150可以支持惰性气体保护、低真空或高真空热处理。
RTP-100快速退火炉 升温速度：150摄氏度每秒，可以用于大4英寸晶圆或者100mm x 100mm尺寸样品热处理。RTP-100可以支持真空或高真空热处理。