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在精密加工和纳米定位等领域对定位及加工精度有着越来越严苛的限
在精密加工和纳米定位等领域对定位及加工精度有着越来越严苛的限制,为了实现高分辨率的定位及加工精度,微位移压电促动器成为该系统中的重要组成部分。压电促动器已被广泛用于一系列精密定位加工系统中,如纳米压印、图像处理与稳定、精密车削等。 因其体积小巧、振动频率高等特点主要应用于快速阀控制、纳米定位与控制等
在精密加工和纳米定位等领域对定位及加工精度有着越来越严苛的限制,为了实现高分辨率的定位及加工精度,微位移压电促动器成为该系统中的重要组成部分。压电促动器已被广泛用于一系列精密定位加工系统中,如纳米压印、图像处理与稳定、精密车削等。 因其体积小巧、振动频率高等特点主要应用于快速阀控制、纳米定位与控制等