在精密加工和纳米定位等领域对定位及加工精度有着越来越严苛的限制,为了实现高分辨率的定位及加工精度,微位移压电促动器成为该系统中的重要组成部分。压电促动器已被广泛用于一系列精密定位加工系统中,如纳米压印、图像处理与稳定、精密车削等。

因其体积小巧、振动频率高等特点主要应用于快速阀控制、纳米定位与控制等。

压电促动器体积非常小巧,出力却可达50000N,集成到精密定位加工系统中,可使设备更小巧、更紧凑的同时也能实现更高的产品性能。

压电促动器具有非常高的分辨率,应用于精密定位加工系统中,可实现纳米级的定位及加工精度需求。

压电促动器响应时间可达微秒级,响应速度非常快,同时由于自身的材料特性,使其在使用过程中不受干扰,能够大的输出动态性能。

压电促动器可在真空中时使用,同时也可在-273°C的低温环境中使用,这满足精密定位及加工设备对低温的特殊要求。