flatness

简要描述：​中图仪器非接触式3d光学轮廓仪SuperViewW1能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。非接触高精密测量方式，不会划伤甚至破坏工件，而且测量速度快，不必像探头逐点进行测量。对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果