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现代高分辨率 OLED 和 LCD 显示器制造需要更重视缺陷减少和制程控制。应用材料公司世界首台制造线上电子束检视 (EBR) 系统整合了半导体扫描式电子显微镜(SEM) 和 AKT 的大型真空平台。 自动制程检查 (API) 和临界线宽(CD) 测量为客户提供最具挑战性的制程控制规格