现代高分辨率 oled 和 lcd 显示器制造需要更重视缺陷

现代高分辨率 OLED 和 LCD 显示器制造需要更重视缺陷减少和制程控制。应用材料公司世界首台制造线上电子束检视 (EBR) 系统整合了半导体扫描式电子显微镜(SEM) 和 AKT 的大型真空平台。

自动制程检查 (API) 和临界线宽(CD) 测量为客户提供最具挑战性的制程控制规格。自动缺陷检查 (ADR) 模组具备精密平台，可根据 AOI 座标记录缺陷，并借助 EDX 确定致命缺陷的根本原因。引入制造线上扫描式电子显微镜的半导体良率方法，使柔性 OLED 显示器实现高良率和可靠性，并大幅提升世界上最大的基板 LCD 的良率。