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超声波是频率在20kHz以上的声波具有穿透力强、频率高、方向性准等特点。早在20世纪50年代就出现了超声波清洗技术在过去几十年超声波清洗已广泛应用于各行各业清洗应用大到机械零部件小到半导体器件。超声波清洗的重要特点是速度快、效果好、成本低、有利于环保、容易实现工业控制等

超声波是频率在20kHz以上的声波具有穿透力强、频率高、方向性准等特点。早在20世纪50年代就出现了超声波清洗技术在过去几十年超声波清洗已广泛应用于各行各业清洗应用大到机械零部件小到半导体器件。超声波清洗的重要特点是速度快、效果好、成本低、有利于环保、容易实现工业控制等

台式电镜是近代发展很快、用途日益广泛的重要电子光学仪器之一。现已很接近于透射电镜的分辨率，而且大多数扫描电镜都能同X射线波谱分析仪、X射线能谱仪和自动图像分析仪等组合，使得它是一种对表面微观世界能够进行全面分析的多功能的电子光学仪器。 从仪器的角度，提高台式电镜的分辨率主要有如下途径： 1.降低透镜的球像差以获得小的电子束斑尺寸扫描电子像的分辨率在一定程度上取决于电子束斑的尺寸