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超声波是频率在20kHz以上的声波具有穿透力强、频率高、方向性准等特点。早在20世纪50年代就出现了超声波清洗技术在过去几十年超声波清洗已广泛应用于各行各业清洗应用大到机械零部件小到半导体器件。超声波清洗的重要特点是速度快、效果好、成本低、有利于环保、容易实现工业控制等