超声波是频率在20kHz以上的声波具有穿透力强、频率高、方向性准等特点。早在20世纪50年代就出现了超声波清洗技术在过去几十年超声波清洗已广泛应用于各行各业清洗应用大到机械零部件小到半导体器件。超声波清洗的重要特点是速度快、效果好、成本低、有利于环保、容易实现工业控制等。超声波清洗被国际公认为是当前效率高、效果好的清洗方式其清洗效率达到98%以上清洗洁净度也达到了高级别。尤其是对形状结构复杂、人工及其它清洗方式不能有效地进行清洗的工件具有显着的清洗效果。
根据不同的溶剂不同的工件材料配合适当的清洗剂调节清洗液的酸碱度清洗效果会更好。超声波清洗原理超声波清洗主要是利用超声波在液体中的空化作用空化效应。超声波在液体传播过程中当其声波压强达到一个大气压时超声波的功率密度约为0.35W/cm2这时在液体中传播的超声波的声波压强峰值在液体中会产生一个很大的力将液体拉裂成空洞(空化核)此空洞为真空或非常接近真空。在信号电压值(或超声波压强)下一个半周达到大时由于周围的压力的增大而被压碎这些无数细小而密集的气泡破裂时产生冲击波的现象被称之为“空化”作用空化泡崩溃时在极短的时间和极小的空间内形成局部热点可产生高达5000K的高温和108Pa的高压温度变化率高达109K/s并伴随有强烈的冲击波和时速达400km的射流。空化过程如图1所示。在此作用下液体分子激烈碰撞产生非常强大的冲击力将被清洗物体表面的污物撞击下来。空化作用也在固体与液体的交界处产生一种剪切力也是使污垢脱落因而两种力的作用对于浸入超声波作用下的液体中的物体外表面具有超乎寻常的清洗作用。