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证券时报网讯，安信证券指出，测试设备贯穿半导体制造始末，占20%设备投资额。前道测试：科磊（KLA）高度垄断，量测领域国产替代较快。前道量检测设备注重过程工艺监控，根据功能的不同分为两种设备：一是量测类，二是缺陷检测类