11000m3

电子工业是VOCs排放的主要行业之一，电子工业废气VOCs排放种类多，组分复杂。一般来说，废气排放中风量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放量大（通常大于11000m3/h）和浓度低（通常小于25ppm）的特点