电子工业是vocs排放的主要行业之一

电子工业是VOCs排放的主要行业之一，电子工业废气VOCs排放种类多，组分复杂。一般来说，废气排放中风量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放量大（通常大于11000m3/h）和浓度低（通常小于25ppm）的特点。在产品制造过程中主要VOCs排放为异丙醇、丙酮、甲苯、二甲苯、醋酸丁酯、乙酸乙酯、甲基乙基酮等。

针对电子行业的废气具有风量大、浓度低、种类繁多等显著特点，采用废气过滤装置+沸石转轮浓缩+RTO系统对VOCs进行治理。废气过滤装置采用四级过滤系统，能较完全地去除废气中0.5um以上的颗粒物，净化效率达到99%。大风量、低浓度的有机废气去除颗粒物后通过沸石转轮浓缩成小风量、高浓度气流，再将浓缩后的高浓度有机废气引入RTO进行高温氧化处理。其主要优点是废气处理效率达到99%以上、热回收效率达到95%以上；进入RTO前加入沸石转轮浓缩，使风量降低，浓度增高，减小RTO的配置参数。