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由于作为进水的纯水系统的制水速度较慢，因此在纯水系统与超纯水系统之间必须有水箱作为过渡。然而在水箱中贮放纯水会因为材质的溶出、空气中无机物质与有机物质的污染，以及微生物的繁殖等因素造成纯水水质的劣化，进而增加超纯水系统的纯化负荷。为了让超纯水装置有稳定的进水水质，如何使水箱的水质劣化程度控制在zui小范围内非常重要