离子轰击

使用等离子体是一种有效的清洁方式，无需使用危险溶剂。等离子体是一种电离气体，能够导电并从电源中吸收能量。人为的等离子体通常是在低压环境下产生的（闪电和北极光是自然发生的等离子体的例子）

溅射镀膜是一种在真空室中用高能粒子轰击靶表面的技术。靶中的原子和其他粒子被粒子动量转移击落，沉淀在衬底上形成薄膜。溅射工艺具有溅射面积小、溅射材料可控制性较强、溅射速度快等优点