椭圆偏振

椭圆偏振技术（Ellipsometry）是一种多功能和强大的光学技术，可用以取得薄膜的介电性质（复数折射率或介电常数）。已被应用在许多不同的领域，从基础研究到工业应用，如半导体物理研究、微电子学和生物学。椭圆偏振是一个很敏感的薄膜性质测量技术，且具有非破坏性和非接触的优点