本计划将开发一套国内自主的主动式fast steering mirrors (FSM)激光光源补偿系统，其具有高反应、高带宽与高定位精度的特性。其目的是提升激光光束品质。目前国内并无厂商亦或是学者针对激光光源补偿系统之机制进行研究，激光光源补偿系统需仰赖进口，激光光源补偿系统由于其独占性与高单价特性，使得国内中小企业难以取得。此系统之核心技术在于其光学设计、马达设计、光机电整合与误差补偿算法。因此若能自行开发完成主动式FSM激光光源补偿系统，并技转给国内厂商，将使得国内厂商能自主开发主动式FSM激光光源补偿系统之相关软件与硬件设备，预期能带动本土相关产业之进步。