NPC-3500（M）等离子刻蚀机：NANO-MASTER 等离子刻蚀和等离子灰化机是专门设计用来满足晶圆批处理或单芯片处理，具有广泛应用，从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制，可以配套不同的等离子源，加热或不加热基片夹具具有*的能力:可以从PE等离子刻蚀切换到RIE刻蚀模式也就是说可以支持各向同性和各向异性的各种应用。
NPC-3500（M）等离子刻蚀机概述：NANO-MASTER 等离子灰化和清洗系统是专门设计用来满足晶圆批处理或者单芯片处理的广泛应用，从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制，可以配套不同的等离子源，加热或不加热基片夹具具有*的能力:可以从PE等离子刻蚀切换到RIE刻蚀模式也就是说可以支持各向同性和各向异性的各种应用。