三坐标测量机（CMM）是近50年来发展起来的一种新型高效精密测量仪器。它的出现，一方面是由于自动机床、数控机床的高效加工，以及越来越多形状复杂的零件的加工，这些零件需要快速可靠的测量设备与之匹配。另一方面，电子技术、计算机技术、数控技术和精密加工技术的发展为三坐标测量机的生产提供了技术基础。

扫描电子显微镜是一种新型的电子光学仪器，自20世纪60年代作为商用电子显微器问世以来，得到了迅速发展。广泛应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检测等各个领域。研究领域和工业部门。如图1所示，它是扫描电子显微镜的外观图。

导电性较差的材料，如陶瓷、β-环糊精、二氧化硅、细菌等，在使用蔡司扫描电子显微镜对其微观结构进行表征和分析时，往往会出现非常严重的带电现象，导致畸变图像中的对比度异常、变形或样品漂移。这是因为在扫描电子显微镜中，当电子束连续轰击样品时，入射电子的电流等于二次电子电流、背散射电子电流和样品接地电流与充电电流之和。