可适配于RLS系列射频电源使用，广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子去胶等工艺。单独使用时，可与其他厂家射频电源配套使用。
RHH系列射频电源依靠成熟的射频发生技术为基础，为客户提供更大的功率、精度更高、响应快速的射频电源。具有相位可设、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等。
适用工艺：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。
RLS系列射频电源采用目前稳定可靠的功率放大器和公司最核心的直流控制系统，从而使产品具有非常稳定的性能，产品可靠性高。采用中英文显示界面，操作简便。主要应用于光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等。