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离子注入会将原子撞出出晶格结构而造成晶格损伤，必须通过足够高温度的热处理，才能具有电活性，并消除注入损伤RTP系统能够快速使晶圆温度上升或下降。一般清况下，RTP系统只需要不到10s的时间就能使晶圆达到所需的退火温度，即1000℃、1150℃之间。退火过程需要10s左右时间，接着关掉加热灯管并注入氮冷却气体后，晶圆将被 RTP系统能够快速使晶圆温度上升或下降

今天，我们将讨论RTP，它的定义，更重要的是，它对您意味着什么。 玩家回报率（Return to Player RTP）是一个术语，从长期来看，玩家在某种特定的游戏中会获得相当于压注金额百分比的预期回报。 根据游戏的不同类型，%RTP可以通过理论方式或模拟方式来计算