661cm

研究了离子注入前后GaN的拉曼散射光谱特别是其中几个在各种离子注入后都存在的拉曼散射峰如298362和661cm-1峰的性质峰值强度随注入元素原子量、注入剂量和退火温度的变化关系.上述三个拉曼散射峰的强度都随注入元素原子量的增加而降低.当注入剂量增大时362和661cm-1峰值强度减少而298cm-1峰值强度却增大.随退火温度的升高这三个拉曼散射峰的强度先增加后降低.对所观察到的实验现象和这三个峰的起源进行了分析和讨论. (1)北京大学分子动态与稳态结构国家重点实验室化学与分子工程学院物理化学研究所北京100871; (2)北京大学物理学院北京100871 1. (1)北京大学分子动态与稳态结构国家重点实验室化学与分子工程学院物理化学研究所北京100871; (2)北京大学物理学院北京100871 摘要: 研究了离子注入前后GaN的拉曼散射光谱特别是其中几个在各种离子注入后都存在的拉曼散射峰如298362和661cm-1峰的性质峰值强度随注入元素原子量、注入剂量和退火温度的变化关系.上述三个拉曼散射峰的强度都随注入元素原子量的增加而降低.当注入剂量增大时362和661cm-1峰值强度减少而298cm-1峰值强度却增大.随退火温度的升高这三个拉曼散射峰的强度先增加后降低.对所观察到的实验现象和这三个峰的起源进行了分析和讨论.