51475479

[5]参加国家高新技术研究发展计划（863计划）项目：聚合物微纳系统制造技术及装备课题四（2012AA040406）开始日期:2012-09-25结项时间:2014-09-25. [6]参加高等学校博士学科点专项科研基金项目：集成光子器件数字化封装制造装备基础研究（20110162130004）开始日期:2011-09-25结项时间:2013-09-25. [7]主持国家自然科学基金项目：微纳光子器件高通量与高保真光耦合原理与技术（51475479）开始日期:2015-09-25结项时间:2018-09-25. [8]主持流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金：三维微纳结构功能表面的精密磨削技术研究开始日期:2014-12-01结项时间:2016-12-25.

[5]参加国家高新技术研究发展计划（863计划）项目：聚合物微纳系统制造技术及装备课题四（2012AA040406）开始日期:2012-09-25结项时间:2014-09-25. [6]参加高等学校博士学科点专项科研基金项目：集成光子器件数字化封装制造装备基础研究（20110162130004）开始日期:2011-09-25结项时间:2013-09-25. [7]主持国家自然科学基金项目：微纳光子器件高通量与高保真光耦合原理与技术（51475479）开始日期:2015-09-25结项时间:2018-09-25. [8]主持流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金：三维微纳结构功能表面的精密磨削技术研究开始日期:2014-12-01结项时间:2016-12-25.