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涡轮分子泵为什么一定要充气呢?
涡轮分子泵的启动快
涡轮分子泵为什么一定要充气呢? 涡轮分子泵的启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和电子器件制造等方面。那么,涡轮分子泵为什么到了一定时间内要充气? 当涡轮分子泵关闭或运转极慢时,泵将不再有足够大的压缩比(泵内压力梯度)来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流