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事实上，更早的一些干式真空机组的设计理念是叠加罗茨泵。这种多级设计使气体通道相当复杂，每个阶段需要更多氮的氮具有稀释和隔离作用。同时，为了达到良好的真空度，对各级的间隔有非常严格的要求