saqua

2016年12月，北方华创微电子装备有限公司自主研发的Saqua系列12吋清洗机，在中芯国际完成52万片生产线流片，设备的工艺性能及可靠性获得用户肯定。 长久以来，工艺水平和可靠性是困扰国产集成电路装备走向规模应用的两大难题。本次北方华创Saqua系列清洗机成功实现大规模流片，标志着公司设备在具备了生产工艺能力的基础上，通过了严酷的大生产线验证，在生产效率、稳定性、可靠性等方面达到了与进口设备相媲美的技术水平