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离子束刻蚀机分辨率高,可用于细小图形的蚀刻
离子束刻蚀机分辨率高,可用于细小图形的蚀刻。离子束加工小孔的优点是孔壁光滑,不会对邻近区域产生应力和损伤,可以加工任何形状的小孔,小孔的形状只取决于口罩的孔型。 将样本置于真空系统中,使其表面自然形成-一种受污染的抗腐蚀剂口罩,用电子束曝光显影,形成线宽8nm的图形,然后用离子束浸蚀,离子束流密度0.1mA/cm,离子能量1keV;另一种将线宽8nm,深宽比提高到2.5:10,线宽20nm,厚度8nm
近日,中国科学院西安光机所光电子学研究室联合该所条纹相机工程
近日,中国科学院西安光机所光电子学研究室联合该所条纹相机工程中心,研制出国内首个光阴极X射线管。该光阴极X射线管出射X射线强度可调,能量范围宽(1keV~100keV),脉冲宽度窄(可达皮秒量级),该技术成功打破其他国家技术垄断。 传统的X射线管采用热阴极方式发射电子,电子再被高压电场加速轰击金属靶产生X射线