准直光束

紫外熔融石英从紫外到近红外波段（185-2100nm）都有很高的透过率，尤其是在深紫外区域具有非常高的透过率。平凸透镜和双凸透镜都能对准直光束进行汇聚，选择时，如果获得低于0.2或大于5的绝对放大率，通常选平凸透镜。当放大率介于0.2和5之间时，双凸透镜更适合

现代白光干涉仪采用的干涉效应发生在样品反射光与高精度参考镜反射的光叠加时。 测量方法基于麦克森干涉原理，其光学配置（图像）包含有μm 范围内相干长度的光源。准直光束在光束分离器上被分成测量光束和参考光束