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X射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长(或能量)分开，分别测量不同波长(或能量)的X射线的强度，以进行定性和定量分析。 它能分析B(5)~U(92)之间所有元素