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王家畴，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员，硕士生导师。在哈尔滨工业大学取得博士学位（最高学位）。于2008年12月加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所

博士，北京大学信息科学技术学院微电子学球探手机比分网教授，“微米纳米加工技术国家级重点实验室”学术委员会副主任。 1992年毕业于北京大学微电子专业，1997年在北京大学获微电子学与固体电子学博士学位，同年留校工作。2000年到2004年在美国加州大学戴维斯分校和美国康奈尔大学做访问学者

秦楠，中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员，硕士生导师。2014年毕业于上海大学并取得博士学位，同年加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所。 长期从事生物微纳加工与智能感知领域的研究工作，并取得多项创新性成果