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低温等离子废气处理设备技术是近年发展起来的废气处理新技术。等离子体被称为物质的第四种形态，利用介质放电所产生的等离子体以每秒300万次至5000万次的速度反复轰击异味气体分子，激活、电离、裂解废气中的各种成分，使复杂的大分子污染物转变为一些小分子的安全物质（如CO2和H2O），达到净化的目的。 等离子技术产生的高能电子能量高，自由基密度大，因此绝大部分有毒有害物质均能被分解，且处理对象广泛，对各种工业有机废气及国家《恶臭污染排放标准》中规定的八大恶臭物质均能有效去除

等离子净化器在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。 在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成低毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除