连续工艺

该论文阐述了一种基于检测微环境变化选择性光谱响应的光电探测器件。开云体育app(中国)官网下载季涛助理教授为本文的第一作者及通讯作者，胡俊青教授为共同通讯作者，开云体育app(中国)官网下载为本文的第一单位及通讯单位（论文链接：[URL]）。 在这工作中，通过热蒸发、水热、氢气气氛退火、溶胶旋涂等一系列连续工艺开发了一种具有N-TiO2/H-TiO2/p-Si多结结构的光电探测器