ssmb
稳态微聚束ssmb极紫外及软x射线光源是一种新概念加速器光源
稳态微聚束(SSMB)极紫外及软X射线光源是一种新概念加速器光源,有望为先进光刻下一代光源提供全新选项,并为物质科学多学科基础研究提供性能独特的新工具。在学校自主科研择优专项的大力支持下,已完成原理验证实验、初步概念设计、关键部件研发等进展,已经列入学校2030创新行动计划。拟推动国家重大科技基础设施申请与建设
稳态微聚束(SSMB)极紫外及软X射线光源是一种新概念加速器光源,有望为先进光刻下一代光源提供全新选项,并为物质科学多学科基础研究提供性能独特的新工具。在学校自主科研择优专项的大力支持下,已完成原理验证实验、初步概念设计、关键部件研发等进展,已经列入学校2030创新行动计划。拟推动国家重大科技基础设施申请与建设