248nm

通过使用有时被称为“冷消融”的工艺，紫外激光器的光束会产生一个缩小的热影响区，可以将冲缘加工、碳化以及其它热应力的影响降至*低，而使用更高功率的激光器通常都会存在这些负面影响。 紫外激光器的波长比可见光波长更短，因此肉眼是不可见的。虽然你无法看到这些激光束，但就是这些短波让紫外激光器能够更精确地聚焦，从而在产生极其精细的电路特性的同时，还能保持优良的定位精度

全球光刻胶研制专利共5483件，其中光刻胶用树脂专利为3726件，这些树脂专利的具体分类及各类专利所占比例见上图。目前光刻胶用树脂专利中G、I线，248nm，193nm，DUV，浸没式193nm光刻胶占树脂专利的88%，其中DUV是指既可用于248nm光刻胶也可用于193nm光刻胶的树脂专利，浸没式193nm是指专门用于浸没式193nm光刻胶的树脂专利。目前产业界中产值最大的光刻胶也主要是G、I线光刻胶，248nm光刻胶，193nm光刻胶