cs300

5月16日，2020集成电路产业链协同创新发展交流会在北京和上海两大主会场举行，会上颁发了第三届集成电路产业技术创新奖（IC创新奖），以鼓励集成电路技术创新、成果产业化、产业链上下游合作。北京七星华创流量计有限公司研制的“CS300压力不敏感气体质量流量控制器”获得技术创新奖。 “CS300压力不敏感热式气体质量流量控制器”采用全金属密封的结构、热式传感器测量技术及压力补偿算法，可以精准地对被控气体进行测量与控制，以满足半导体产业的需要，在半导体和集成电路工艺等多种领域的科研和生产中有着重要的应用