jomm
近期，由中国科学院微电子研究所、国科大微电子学院联合创办的国
近期，由中国科学院微电子研究所、国科大微电子学院联合创办的国际全英文学术期刊《Journal of Microelectronic Manufacturing》（JoMM，国际标准期刊编号ISSN：2578-3769）成功出版了第三卷第一期。 本期专题文章如下： JoMM 旨在发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果，内容包括但不限于Design、Process、Metrology & Yield Control、Packaging、Materials、Equipment 等方面。作为开放阅览电子学术期刊，JoMM致力于实现快速发表，稿件录用后即时上线，可阅览、下载、引用